SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
作者:标准资料网 时间:2024-05-15 00:18:17 浏览:8585
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基本信息
标准名称: | 蒸发镀膜设备基本参数系列 |
英文名称: | Basic parameter series of evaporation plating equipment |
中标分类: | 医药、卫生、劳动保护 >> 医药、卫生、劳动保护综合 >> 技术管理 |
ICS分类: | 电子学 >> 电子元件综合 |
替代情况: | SJ 1098-77 SJ 1099-77 |
发布部门: | 中华人民共和国电子工业部 |
发布日期: | 1997-09-03 |
实施日期: | 1998-01-01 |
首发日期: | 1900-01-01 |
作废日期: | 1900-01-01 |
归口单位: | 电子工业部标准化研究所 |
起草单位: | 成都南光实业股份有限公司 |
起草人: | 陈华先、谭丽、康开丽 |
出版社: | 电子工业部标准化研究 |
出版日期: | 1998-01-01 |
页数: | 4页 |
适用范围
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类: 医药 卫生 劳动保护 医药 卫生 劳动保护综合 技术管理 电子学 电子元件综合
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